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產品資料

殘余氣體分析儀

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 殘余氣體分析儀
產品型號: CIS
產品展商: 美國斯坦福(SRS)
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

CIS 氣體分析儀 CIS 系列 — 封閉式離子源分析儀 100、200 和 300 amu 系統 1 ppm 檢測 *大 10 毫托 運營壓力 1 x 10 -12托檢測限 RGA Windows 軟件 多頭操作 RGA 和 CIS 模式


殘余氣體分析儀  的詳細介紹

CIS 系列封閉式離子源分析儀

憑借優于 1 ppm 的檢測限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶友好的 Windows 軟件包,CIS 系統將滿足您*苛刻的應用。在線過程監測和控制、在使用點驗證過程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過程設備泄漏檢查是這些系統必不可少的一些領域。

緊湊型設計

鍍金離子發生器

該探頭由一個四極質譜儀和一個安裝在 2.75" Conflat ®  Tee 內的 CIS 離子發生器組成??刂茊卧苯影惭b在探頭的饋通法蘭上,并包含操作儀器所需的所有電子設備。CIS 接頭的側面端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測器保持在高真空狀態的差動泵系統連接。該系統可以通過其標準 CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到工藝室。該裝置是自對準的,具有簡單、堅固的設計。您可以清潔和重新組裝探頭,并在現場更換燈絲和電子倍增器,而無需致電工廠。

鍍金離子發生器

整個離子發生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區域中的除氣和背景信號,提高了長期穩定性,并允許在暴露于反應性和腐蝕性氣體時進行操作。使用鎢絲,可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應性氣體,并延長使用壽命。電離器的封閉(氣密)設計可防止常見的干擾物質回流到電離體積中。這會產生沒有光譜重疊的峰。

探測器的選擇

CIS 系列分析儀標配法拉第杯檢測器(10 ppm 檢測)和連續打拿極電子倍增器(1 ppm 檢測)。該軟件允許您在檢測器之間輕松切換。

電子倍增器

多功能性

CIS 系統也可以用于所謂的“RGA 模式”。在這種模式下,裝置具有較低的*小可檢測分壓,但也具有較低的*大工作壓力。例如,RGA 模式用于濺射工藝的**階段,此時腔室被抽空至低壓,并檢查真空質量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式,以便在較高壓力下直接采樣。

完全可編程性

提供標準 RS-232 接口以及完整的編程參考。可以控制和監控所有探頭參數,并且可以獲取數據以用于自定義應用程序。

視窗軟件

模擬模式

CIS 系統由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。該程序是完全交互式的,使用戶可以完全控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作,刻度可設置為線性或對數格式,數據可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數據,或按給定時間間隔計劃采集數據,以進行長期數據記錄。功能包括用戶可選擇的單位(ppm、Torr、mbar、Pa 和 A)、可編程的音頻和視頻警報以及全*的在線幫助。該軟件允許通過簡單的質量標度調整、靈敏度校準、離子發生器設置和電子倍增器增益調整實現完整的 CIS 磁頭控制。為了進一步分析,數據文件可以以 ASCII 格式保存,以便于傳輸到電子表格中。圖形圖像可以保存為 META 文件或復制到剪貼板以導入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數提供密碼保護,使臨時用戶無法更改重要設置。

可選的獨立監視器 ( PPM100 ) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。

壓力與時間

多頭操作

當需要多個 CIS 時,該軟件支持多頭操作。該軟件*多可監控 8 個 ECU。

泵送要求

CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎壓力低于10 -9  Torr的抽吸系統。連接端口是一個 2.75" Conflat ® 法蘭。選項 O100TDP 提供一個渦輪泵,它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 泵頭上。訂購此選項時,整個分析儀都在工廠組裝、測試和校準。用戶可以提供自己的泵站;但是,用戶有責任確保泵系統不會損壞或限制儀器的性能。

經濟實惠的性能

圖書館模式

SRS CIS 系統以競爭模型的一小部分成本提供*先進的性能。標準系統包括法拉第杯探測器、電子倍增器探測器和 Windows 軟件。選項包括用于交流線路操作的內置電源模塊,以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。


獨聯體尺寸圖





獨聯體參數 范圍 獨聯體模式 RGA模式
電子發射電流 (mA) 0到1 0.05 0.5
電子能量 (eV) 25 至 105 70 或 35 70
離子能量 (eV) 4 或 8 4 或 8 4 或 8
提取電壓 (V) 0 到 -150 -50(典型值) -50(典型值)
靈敏度 (A/Torr)
(對于 N 2 @28 amu)
  10 -6 10 -5
線性范圍上限 (Torr)   2×10 -3 10 -4
MDPP (托)   10 -8 10 -9

筆記


1. CIS 測試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進行,由隔膜泵支持,連接到 CIS Cover Tee 的側端口。2. 報告的 RGA 模式靈敏度是針對低于 10 -5  Torr的 N 2
計算得出的。 3. CIS 模式靈敏度是針對 N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下計算的。4. MDPP(*小可檢測分壓)通過在 10 -5(RGA 模式)和 10 -3存在28 N 2 的情況下測量法拉第杯檢測的基線水平來確定

 托(CIS 模式)。當電子倍增器打開時,可檢測性可提高多達 3 個數量級。


CIS 系列規格

操作

質量范圍  
     CIS100 1 到 100 amu
     CIS200 1 到 200 amu
     CIS300 1 至 300 amu
質量過濾器類型 四極桿
探測器類型 法拉第杯和電子倍增器
解析度 優于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根據 AVS 標準 2.3)。在整個質量范圍內可調至恒定峰寬。
*大限度。工作溫度 70℃
烘烤溫度 300 °C(不帶 ECU)

離子發生器

設計 封閉離子源,圓柱對稱,電子碰撞電離
材料 鍍金 SS304
燈絲 鎢或 ThO 2 /Ir 帶固件保護(現場可更換)
電子能量  25 至 105 eV,可編程
離子能量 4 或 8 eV,可編程
聚焦電壓 0 至 150 V,可編程
電子發射電流 0 至 1 mA,可編程

一般的

探頭安裝法蘭 2.75" CF
ECU尺寸 4.1" × 3.1" × 9.1" (WHL)??奢p松與探頭分離以進行烘烤。
LED指示燈 電源開/關、燈絲開/關、電子倍增器開/關、RS-232忙、錯誤、過壓、燈絲燒毀
熱身時間 3 分鐘后峰高 ±2 %。30 分鐘后質量穩定性 ±0.1 amu。
電腦接口 RS-232C,28,800 波特,帶上等命令集
軟件 基于 Windows 的應用程序
電力需求 24 VDC @ 2.5 安培。公頭 DB9 連接器,可選內置電源模塊,用于交流線路操作
重量 6 磅。
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