<xmp id="giyki"><xmp id="giyki">
<center id="giyki"></center>
<optgroup id="giyki"></optgroup><optgroup id="giyki"><div id="giyki"></div></optgroup>
<optgroup id="giyki"></optgroup>
<optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup>
<optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup>
<center id="giyki"></center>
<center id="giyki"><div id="giyki"></div></center>
<optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup><optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup>
產品資料

UGAPM 系列過程監控系統

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: UGAPM 系列過程監控系統
產品型號:
產品展商: 美國斯坦福(SRS)
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

過程監控 UGAPM 系列 — 多達 300 amu 氣體分析儀 工作范圍為 1 mTorr 至 20 Torr 100、200 和 300 amu 系統 <1.5 秒響應時間 多點分析 多范圍應用 死體積幾乎為零 系統烘烤 樣品線加熱


UGAPM 系列過程監控系統  的詳細介紹

UGAPM 系列過程監控系統

UGAPM 系列過程監測系統是為分析過程氣體而設計的現代質譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速(約5x10 -5  mbar L/sec)連續采樣氣體,使儀器成為在線分析的理想選擇。

UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發、濺射沉積、真空熱處理、靶材老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析(0.1 mL范圍)等。

這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進行控制。在 UGAPM 系統中,使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛細管來適應中真空采樣。使用這種配置,處理室和分析儀之間的死體積幾乎為零。

工作原理

UGAPM 系統使用單級毛細管減壓入口,用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后,氣流被送到質譜儀(殘余氣體分析儀——RGA),該質譜儀測量每個感興趣的質量的濃度。

UGAPM Windows 軟件為復雜的繪圖和數據分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門、加熱器和泵。

多毛細管入口

可選的多入口閥具有兩種可能的配置。一種是多通道配置,可適用于不同位置的一種特定樣品壓力。另一種是多量程配置,可適用于不同量程的樣品壓力。

使用您的 UGAPM

UGAPM 系統可以通過前面板或計算機進行控制。提供所有系統組件的手動或自動控制選擇。

使用 UGAPM 軟件測量和顯示數據。直觀的用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數據,或計劃在指定時間采集數據。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。

RGA 參數也可以通過上等 ASCII 命令等進行控制和監視。標準 RS-232和以太網接口用作您 PC 的數據鏈路。

*超值

UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統的*佳價值。它們提供更高的性能、更好的功能,并且價格遠低于競爭對手。

UGAPM 規格

進口

類型 不銹鋼毛細管,兩個額外的2-3/4" CF 端口
流量 在應用壓力下為10 -410 -5 Torr-L/sec
壓力 可選擇1 X 10 -3  mbar至 15 mbar

質譜儀

類型 四極桿 (RGA)
探測器 法拉第杯和電子倍增器
范圍 100、200 或 300 原子質量單位 (amu)
解析度 在 10 % 峰高處優于 0.5 amu
檢測限 <10 ppm 使用法拉第杯檢測器,<1 ppm 使用電子倍增器
運營壓力  FC 為10 -4 mbar ,CDEM為10 -6  mbar

連接

進樣口 1/16" 或 1/8" 世偉洛克接頭
排氣 1/4" Tygon 管適配器
計算機 以太網或 RS-232C,DB9 連接器
力量 3針接地線

UGA軟件

軟件 Windows 應用程序。控制 UGAPM 系統,包括 RGA。

系統

混合渦輪分子/阻力泵,81 升/秒。極限壓力2 x 10 -9  mbar。極限壓力小于 7 mbar 的隔膜泵。防護等級 IP44

材料

建造 SS304 和 SS316
絕緣子 氧化鋁、陶瓷
密封件 Viton ®、丁腈橡膠和丁腈橡膠、銅墊片
各種各樣的 鋁,Tygon ®

一般的

啟動時間 距句號 8 分鐘
*大限度。環境溫度。 35°C
電力需求 <600 W,110 V / 60 Hz220 V / 50 Hz(不可現場選擇)
方面 12" × 11" × 27" (WHL)
重量 75 磅
了解產品更多詳情,請聯系我們,深圳市奧德賽創精密儀器有限公司將會提供價格優惠質量保障,讓您滿意的產品,謝謝!




產品留言
標題
聯系人
聯系電話
內容
驗證碼
點擊換一張
注:1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發送信息!
2.如有必要,請您留下您的詳細聯系方式!
Copyright@ 2003-2022  深圳市奧德賽創科技有限公司版權所有  

深圳市奧德賽創科技有限公司

聯系人:朱先生      

手  機:15219499125 微信同號   

Q   Q:913995312    

郵  箱:913995312@qq.com

地  址:深圳市寶安區沙井鎮南環路華豐高新產業園11號電梯4樓

網址:www.j-simple.com

       
美女被男人桶到嗷嗷叫爽免费视频
<xmp id="giyki"><xmp id="giyki">
<center id="giyki"></center>
<optgroup id="giyki"></optgroup><optgroup id="giyki"><div id="giyki"></div></optgroup>
<optgroup id="giyki"></optgroup>
<optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup>
<optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup>
<center id="giyki"></center>
<center id="giyki"><div id="giyki"></div></center>
<optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup><optgroup id="giyki"><small id="giyki"></small></optgroup>