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產品資料

過程監控生產廠家

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 過程監控生產廠家
產品型號: PPR 系列
產品展商: 美國斯坦福(SRS)
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

過程監控 PPR 系列 — 真空過程監控 0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力 3 × 10 -5 Torr-L/s 流量 2 秒響應時間 (0.1 Torr) 100、200 或 300 amu 系統 6個數量級的動態范圍 RGA Windows 軟件


過程監控生產廠家  的詳細介紹


PPR 系列過程監控系統

PPR 過程監控系統專為在線過程監控和診斷而設計。為殘余氣體分析儀 (RGA) 提供了兩條路徑:用于監測基礎真空的高電導率路徑和用于在工作壓力下監測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個微孔,設計用于在以下壓力之一下運行:0.01、0.1、1 或 10 托。它將樣品壓力降低到 RGA 的工作壓力(約10-6 Torr)。該壓降由由混合渦輪分子泵和隔膜泵組成的泵送系統維持。兩個泵都是無油的,不會污染您的過程。

連接到您的工藝室的入口組件可以通過多種方式進行配置(參見圖紙)。該系統包括 RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數據采集和控制的 Windows 軟件程序。

該軟件用于在各種模式下操作儀器,包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時間模式。法拉第杯和電子倍增器探測器都是 PPR 系統的標準配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR 系統在出廠時已完全組裝和校準,可以連接到您的真空處理室。

幾何 B

幾何A



PPR 規格

表現

氣體流量 3 × 10 -5 mbar-L/s,減壓入口處于活動狀態
響應時間 0.1 mbar 入口壓力下 2 秒(隨壓力成線性比例)
啟動時間 標稱 8 分鐘

連接

進口 2.75" CF法蘭,帶通孔可旋轉
渦輪泵到控制器 6 英尺電纜(已提供)
渦輪增壓到前級泵 6 英尺軟管(提供),
1/4" ID × 7/16" OD
電腦接口 RS-232C(28,800 波特,9 針 D 連接器)
軟件 RGA Windows 應用程序

高真空 混合渦輪分子/阻力泵,70 L/s,
極限壓力2 × 10 -9  mbar
后盾 極限壓力小于 1 mbar 的隔膜泵。防護等級 IP44
冷卻 需要強制風冷

一般的

電源要求 110 VAC @ 60 Hz,
220 VAC @ 50 Hz
(不可現場選擇,300 W)
方面 因配置而異
(請參閱示例配置)
重量 16 磅。(渦輪泵、旁通閥和三通,RGA)
33 磅。(隔膜泵和控制器)
保修單 一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。





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