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產品資料

通用氣體分析儀

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 通用氣體分析儀
產品型號: UGA 系列
產品展商: 美國斯坦福(SRS)
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

通用氣體分析儀 UGA 系列 — 多達 300 amu 氣體分析儀


通用氣體分析儀  的詳細介紹

UGA 系列大氣壓分析儀

UGA 系列——腐蝕性氣體的理想選擇

UGA-氫氣系列(UGA w/opt. 3)——適用于高濃度 H 2

ULT 系列——低成本解決方案(起價 28,000 美元)

UGA 和 U LT系列通用氣體分析儀是*先進的臺式質譜儀,可在大氣壓以上至 UHV 范圍內運行。它們是氣體混合物在線監測和分析的理想選擇。無論您是測量痕量污染物、溶劑、碳氫化合物、制冷劑還是腐蝕性氣體,您的通用氣體分析儀都能勝任這項任務。

UGA 應用包括半導體廢氣監測、手套箱分析、燃料電池研究、氟利昂檢測、污染監測、發酵研究和一般研發真空分析。

這些分析儀也易于操作和維護。機箱設計允許儀器垂直或水平操作,同時支持前面板和計算機操作。LT系列是針對要求不高的應用的簡化設計。

工作原理

特高壓應用

UGA 系統使用兩級減壓入口進入大氣壓下的樣氣。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后,氣流被送到質譜儀(殘余氣體分析儀——RGA),該質譜儀測量每個感興趣的質量的濃度。

UGA Windows 軟件為復雜的繪圖和數據分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門、加熱器和泵。

對于10 -110 -4  Torr范圍內的氣體采樣,使用真空入口組件。只需將 2 ?” CF 至 ?” 管適配器連接到 CF 端口之一,然后根據入口壓力調整管的長度。

為 UHV 應用(<10 -4  Torr)提供了對 RGA 的直接訪問。真空入口組件的任何 2 ?” CF 端口均可用于連接到您的真空室。

多毛細管進樣口(僅* UGA 系列)

直接連接

可選的多端口采樣入口由 16 個安裝在歧管上的閥組成,可與各種毛細管一起使用。

加熱室(僅* UGA 系列)

UGA 系統配備了用于真空室(包括 RGA)、渦輪泵連接器和真空入口組件的單獨加熱器。在烘烤期間,系統可以加熱到 120 °C。

雙隔膜泵(僅* UGA 系列)

單獨的隔膜泵用于處理渦輪泵的旁通流量和回流。這種架構允許在不損壞 RGA 和渦輪泵的情況下分析腐蝕性氣體(氯、氟等),并且幾乎消除了回流問題。測量高濃度的低質量氣體(氫氣、氦氣等)不再是問題。

渦輪泵排氣(UGA 和 U LT

渦輪泵排氣口的可選閥門和入口可供希望用干燥氮氣(或其他惰性氣體)排氣的用戶使用。這使泵免受空氣中存在的水和其他污染物的影響。

軟件系統控制

使用你的 UGA

UGA 系統可以通過前面板或計算機進行控制。提供所有系統組件的手動或自動控制選擇。

使用 UGA 軟件測量和顯示數據。直觀的用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數據,或計劃在指定時間采集數據。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。

RGA 參數也可以通過上等 ASCII 命令集進行控制和監視。標準 RS-232和以太網接口用作您 PC 的數據鏈路。


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