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產品資料

殘余氣體分析儀

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 殘余氣體分析儀
產品型號: RGA
產品展商: 美國斯坦福(SRS)
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

殘余氣體分析儀 RGA 系列 — 100、200 和 300 amu 分析儀 100、200 和 300 amu 系統 優于 1 amu 分辨率 單次掃描6 個數量級的動態 范圍 5 x 10 -14 托檢測限 RGA Windows 軟件 RS-232 和以太網接口


殘余氣體分析儀  的詳細介紹

RGA 系列殘余氣體分析儀

SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價值。這些 RGA 提供真空系統的詳細氣體分析,價格僅為競爭型號的一半。每個 RGA 系統都配有一個四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個用于數據采集和分析以及探頭控制的實時 Windows 軟件包。

堅固的探頭設計

電子倍增器

探頭由離子發生器、四極濾質器和檢測器組成。簡單的設計具有少量零件,可*大限度地減少放氣并減少將雜質引入真空系統的機會。探頭組件堅固耐用,可安裝在標準2 ? 英寸CF 法蘭上。它被不銹鋼管覆蓋,但離子發生器除外,它在您的真空系統中只需要 2 ? 英寸的間隙——大約是標準離子計的間隙。探頭采用自對準部件設計,因此可以在清潔后輕松重新組裝。

緊湊型電子控制單元

密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關電子倍增器、燈絲、電子系統和探頭狀態的即時反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下,以進行高溫烘烤。

獨特的燈絲設計

長壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發射。雙 ThO 2 /Ir燈絲的使用壽命比單燈絲長得多,從而*大限度地延長了燈絲更換之間的時間。與其他設計不同,SRS 燈絲可以在幾分鐘內由用戶更換。

雙釷銥絲

電子倍增器

法拉第杯探測器是 SRS RGA 系統的標準配置,可以測量10 -5到 5 × 10 -11  Torr的分壓。為了提高靈敏度和更快的掃描速率,提供了一個可選的電子倍增器,可檢測低至5 × 10 -14  Torr的分壓。這種*先進的宏多通道連續打拿極電子倍增器 (CDEM) 提供更長的壽命和穩定性,并且也可以由用戶更換 - 這是 RGA 的開創!

加熱套

O100HJRW 加熱器護套配有 Watlow EHG SL10 過程控制器,可提供 210 °C (±3 °C) 的預編程溫度。加熱器護套采用 PTFE (Teflon) 結構制成,由于其低釋氣和無顆粒操作,適用于潔凈室應用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本,并隨附目的地國家/地區的電源線。

加熱套

有用的功能

所有 RGA 都具有內置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸,徹底清潔離子源,大大降低了離子發生器對背景噪聲的影響。

固件驅動的燈絲保護功能持續監控(675 Hz)過壓。如果檢測到過壓,燈絲會立即關閉,以保持其使用壽命。

獨特的溫度補償對數靜電計在單次掃描中檢測10 -7至 10 -15 安培的離子電流,精度優于 2%。這個巨大的動態范圍意味著您可以同時測量小氣體濃度和大氣體濃度。

完全可編程性

通過RS-232接口與計算機進行通信。模擬和直方圖(條形圖)掃描、泄漏檢測和探頭參數都通過上等命令集進行控制和監控。這允許輕松集成到現有程序中。

RGA 視窗軟件

壓力與時間模式

RGA 系統由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。該程序是完全交互式的,使用戶可以完全控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作,刻度可設置為線性或對數格式,數據可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數據,或計劃在給定的時間間隔內采集數據,以進行長期數據記錄。功能包括用戶可選擇的單位(Torr、mbar、Pa 和 A)、可編程的音頻和視覺警報以及全*的在線幫助。

該軟件還允許通過簡單的質量標度調整、靈敏度校準、離子發生器設置和電子倍增器增益調整實現完整的 RGA 磁頭控制。為了進一步分析,可以將數據文件保存為 ASCII 格式,以便輕松傳輸到電子表格中。圖形圖像可以保存為 META 文件或復制到剪貼板以直接導入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數提供密碼保護,使臨時用戶無法更改重要設置。SRS 網站上還提供了 LabVIEW 驅動程序。

圖書館模式

可選的獨立監視器 (PPM100) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。

多頭操作

當需要多個 RGA 時,該軟件支持多頭操作。該軟件*多可監控 8 個 ECU。

性能和價值

SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測和真空處理的應用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統,支持 Windows 軟件和選項,包括電子倍增器和用于交流線路操作的內置電源模塊。



RGA 系列規格

操作

質量范圍
   RGA100 1 到 100 amu
   RGA200 1 到 200 amu
   RGA300 1 至 300 amu
質量過濾器類型 四極桿
探測器類型 法拉第杯 - 標準。
電子倍增器 - 選擇。
解析度 優于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根據 AVS 標準 2.3)。在整個質量范圍內可調至恒定峰寬。
靈敏度 (A/Torr) 2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。
用戶可在整個高壓范圍內調節。用 N 2  @ 28 amu 測量,1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發射電流。
分鐘。可檢測分
   壓
5 × 10 -11 托 (FC)。
5 × 10 -14 托 (EM)。
用 N 2  @ 28 amu 測量,1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發射電流。
運營壓力 10 -4  Torr 到 UHV (FC)
10 -6  Torr 到 UHV (EM)
*大限度。工作溫度 70℃
烘烤溫度 300 °C(不帶 ECU)

離子發生器

設計 開放式離子源,圓柱對稱,電子碰撞電離。
材料 SS304 結構
燈絲 具有固件保護的釷銥(雙)。內置1 至 10 W脫氣加速。現場可更換。
電子能量 25 至 105 V,可編程
離子能量 8 或 12 V,可編程
聚焦電壓 0 至 150 V,可編程
電子發射電流 0 至 3.5 mA,可編程

一般的

探頭尺寸 8.75" 從法蘭面到離子發生器頂部
探頭插入 2.0"
探頭安裝法蘭 2.75" CF
*小管內徑 1.375"
ECU尺寸 9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)
可輕松與探頭分離以進行烘烤。
LED指示燈 電源開/關、燈絲開/關、脫氣開/關、電子倍增器開/關、RS-232 忙、錯誤、過壓、燈絲燒毀。
熱身時間 30 分鐘后質量穩定性 ±0.1 amu
電腦接口 RS-232C,28,800 波特,帶上等命令集
軟件 基于 Windows 的應用程序
電力需求 24 VDC @ 2.5 安培。
可選的內置 VAC 適配器。
重量 6 磅。

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